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MIS二极管型氢敏光电开关传感器
 
更新时间:2014.11.17 浏览次数:
 

  MIS二极管光电开关的伏安特性对氢气很敏感,当氢气体积分数改变时,伏安特性会发生明显的变化,因而可利用它来检测氢气。C-W储备大学开发了带有加热器和测温元件的MIS二极管型微结构氢敏传感器,为了提高灵敏度和耐久性,电极金属用PD-AG合金。用集成电路工艺制造出加热器、测温元件和MIS二极管,最手用牺牲层工艺从背面将硅片选择性地减薄。

  这种测氢二极管在正偏或反偏状态下都可测氢气体积分数:用恒流源正偏置MIS二极管,其正偏压降可定量显示氢气的体积分数;用恒压源反偏置MIS二极管,反向漏电流可定量显示氢气体积分数。

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